- 产品描述
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设备介绍
配置： 1:机械泵组采用莱宝SV630，SV300，WSU2001等进口品牌； 2:箱体全部由不锈钢焊接，结合橡胶密封圈，箱体漏率＜1*10E-9Pa·m³/S（氦质谱检测）； 3:分子泵：设备高真空采用21台KYKY分子泵，箱体极限真空≤5.0E-4Pa； 4:深冷,3台北京天地精仪水汽捕集泵工作温度-135℃（收放卷室，靶位1-3区，靶位4-6区） 5:整机可安装6对（12支）圆柱靶，阴极采用英福康设计，溅射电源使用霍廷格和AE30KW进口电源 6:清洁：阳极离子源。
工艺保障
产能介绍
品质保障
现有生产项目
1:松下某家电项目，装饰类镀膜NCVM膜系，55nm，月出货1.5万m²+良率≥97%
2:海尔某家电项目，装饰类镀膜NCVM膜系，40nm，月出货2万m²+良率≥97%
3:小米某装饰件，4层光学膜系，120nm，月出货5000m²+良率≥97%
4:某装饰类金属膜层80nm，月出货4000m²+良率≥97%
设备及产品图片
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